La membrane filtrante en nickel brevetée de ces filtres à gaz en ligne offre une résistance supérieure à la corrosion et une excellente compatibilité avec les gaz inertes et réactifs. En revanche, elle n'est pas recommandée pour une utilisation avec CO, O₃ et des gaz d'hydrure dopants en faible quantité.
- Filtration supérieure des particules pour filtration des systèmes de gaz haute pureté
- Le boîtier évite le dégazage en minimisant la zone de soudure
Élément de filtre : membrane en nickel fritté brevetée ; boîtier : acier inoxydable F20 , poli par voie électrolytique
Applications : conduites de gaz ultra-pur, applications à pression dynamique et haute température, construction de nouvelle fab, gaz inertes et réactifs.
Propreté des particules en aval : moins de 0,03 particules/litre (<1 particule/0,028 m³) supérieure à 0,01 μm
Propreté des composés volatils en aval : le dégazage de composés volatils d'H₂O, O₂ et THC est en dessous des limites détectables (par RGA et FID à température ambiante)